Розроблено ємнісний гнучкий датчик тиску з полідиметилсилоксаном (PDMS) як еластомерним діелектричним шаром між двома гнучкими провідними електродами. Збільшення пористості/гнучкості PDMS досягнуто зміною мікроструктури за допомогою тонкого шару скрабера у діелектричному шарі для підвищення чутливості до тиску. Створений датчик з мікроструктурним/пористим шаром PDMS-скрабера показує зміну відносної ємності від 0,058% до 25,84% при зміні статичного тиску від 4,4 Па до 216 кПа. Датчик з мікроструктурним/пористим PDMS-шаром має високу чутливість (%) 0,0083 Па-1 у низькому діапазоні тиску (менше 0,022 кПа), швидкий відгук, довговічність та надзвичайно низький поріг виявлення тиску. Чутливість залежить від ефективної площі датчика. Датчики з ефективною площею 324 мм2 мають чутливість до тиску в 10 разів більшу, ніж датчики з ефективною площею 36 мм2. Завдяки високій чутливості в широкому діапазоні тиску, низькій вартості виробництва та простому способу виготовлення, цей гнучкий датчик тиску має потенціал для застосування в біологічних дослідженнях та виробництві носимих пристроїв. Датчик тиску з мікроструктурним/пористим PDMS-скраберним шаром є недорогим та демонструє високу чутливість (%) 0,0046 Па-1 у низькому діапазоні тиску, 0,0051 Па-1 у середньому діапазоні тиску та 4,46 × 10-4 Па-1 у високому діапазоні тиску. Це означає, що датчик може вимірювати тиск з великою точністю в широкому діапазоні значень. Одним з потенційних застосувань цього датчика є вимірювання тиску в системах контролю за підтриманням життєдіяльності, таких як апарати ШВЛ (штучна вентиляція легенів) або інші медичні пристрої. Датчик може бути використаний у виробництві носимих пристроїв, таких як смарт-годинники або фітнес-трекери, для вимірювання пульсу, кров'яного тиску та інших параметрів здоров'я. Крім того, датчик може знайти застосування в інших промислових додатках, таких як моніторинг стану машин та обладнання, вимірювання тиску в нафтогазовій промисловості, контроль за тиском у системах опалення та кондиціонування повітря, тощо.